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マクロ光学検査装置(表面欠陥検査装置)
~ 業界最高レベルの高感度・高速・自動で、広い表面の欠陥検査が可能 ~

製品・サービスの登録業界

この登録製品に関する強み(技術・製品リソース)

1.業界最高レベルの高感度を実現

2.ナノオーダーの表面キズ・歪み・塗布ムラの検査が可能

3.高速・自動でトータルの検査コスト削減が可能

製品・サービスの特長

◇業界最高レベルの高感度で、ナノオーダーの表面キズ・歪み・塗布ムラの検査が可能

◇非破壊かつ高速で自動処理、ばらつき無く履歴の管理が可能

◇安定の全数検査で不良品の流出防止、トータルコストの削減が可能

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マクロ光学検査の仕組み


 マクロ光学検査は、独自開発のラインセンサーカメラを使って、“反射光の変化を利用”したマクロ検査技術です。

  1.エッジ反射光 
      検査対象(ワーク)からの反射光をダイレクトに受光して表面欠陥を検査します。

  2.複合反射光  
      検査対象(ワーク)からの反射光のうち色情報を利用して表面欠陥を検査します。

  3.ミー散乱光
      検査対象(ワーク)から指向性のあるミー散乱光を受光して、結晶欠陥などの検査を行います。  

 【製品HP】
  http://www.inrevium.com/product/measure/tmis-sys-xx-01.html

エッジ反射光


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複合反射光


Product_block_1000241777_1519008200

ミー散乱光

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製品・サービスの仕様


 下記の主要モジュールを中心にカスタム装置を提供しております。

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製品・サービスの仕様


 ラボ用装置の提供も行っております。

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主な検査対象


 ・半導体ウェハ
 ・液晶パネル
 ・カバーガラス
 ・ナノインプリント

その他の製品


 さまざまな検査装置ソリューションを提供してまいります。

 ■【接着剤塗布検査装置 “FV-Dispense Checker”】 ~ 接着剤塗布と同時に塗布状態(塗布幅と位置)の検査が可能!! ~
    https://eexpo.jp/products/2000254711

 ■【高機能・高精度位置決め用画像装置 “FV-alignerシリーズ”】 ~ 導入から実運用までの期間を大幅に短縮!! ~
   https://eexpo.jp/products/2000254721

製品・サービスのステータス

量産中・販売中

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