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高い面内温度均一性を実現する!ウエーハオーブン

製品・サービスの登録業界

この登録製品に関する強み(技術・製品リソース)

1.高い面内温度均一性を実現するウエーハオーブン

2.レジスト乾燥・溶剤乾燥を容易に実現できます

3.温度制御ユニットもインターフェースも搭載できます

製品・サービスの特長

◇350℃迄のウエーハ加熱可能な、オーブンを搭載した、ウエーハ加熱装置

自社開発の100mm~450mm迄のウエーハ加熱ホットプレートを使用した、ウエーハオーブンを搭載した加熱装置となります。

◇冷却プレートや、昇華物対応上部ホットプレート機能も搭載可能

加熱後の次工程に移動するため、冷却プレートを搭載致します、チラーにより冷却水をプレート内に送り冷却致します。又、レジスト等より発生する昇華物をオーブン内に残留させないため、オーブン上部にもホットプレートを搭載し、昇華物をオーブン外に排気させます。

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優れた面内均一性のホットプレート

【特長】
  特長(1)優れた面内温度均一性を実現
  特長(2)希望プロセスに合わせたホットプレートを搭載いたします
  特長(3)薄型ユニットにより多段対応可能
  特長(4)温度制御、装置制御機能も搭載いたします
  特長(5)昇華物対応の上部加熱ユニットも製作いたします  
【導入実績・使用例】
 ・ 半導体製造装置
 ・ 半導体用マスク製造装置

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製品・サービスのステータス

量産中・販売中

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日本フェンオール株式会社

サーマル事業部

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営業

Webサイト

出展品の担当部門所在地

〒102-0072
東京都 千代田区飯田橋1-5-10教販九段ビル

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