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最適な洗浄装置の提供により、ウェハーの清浄度を向上。
微細化するLSIの高集積化、高性能化に貢献します。

製品・サービスの登録業界

この登録製品に関する強み(技術・製品リソース)

1.最適な洗浄方法の提案

2.洗浄装置の薬液取扱に関するノウハウが豊富

3.半導体洗浄装置のスペシャリストが装置設計・製作を一貫対応

製品・サービスの特長

◇半導体製造の前工程を熟知した装置を提供

当社は、過去ウェハー枚葉式洗浄装置、ウェハースクラバや自動薬液供給ユニット等の半導体関連装置を設計・製作しており、実績
豊富です。その中で培った半導体洗浄装置の知識・ノウハウをもとに、お客様の製造工程のつながりを配慮した、最適な装置をご提供します。なお、本製品サービスは、海外においても提供可能です。

◇スペシャリストによる最適な洗浄装置の提案

ウェハーの洗浄度を向上するには、ウェハーに付着したパーティクルや金属汚染による汚れを適切に除去することが重要です。
お客様の製品が抱えるそれらの課題に対して、当社スタッフが最適な洗浄装置をスピーディーにご提案します。当社には、業界大手
企業様の半導体洗浄装置を最終設計まで対応した経験をもつスペシャリストが複数おり、薬液処理を含めウェハーの洗浄方法を熟知
しております。そうしたノウハウを生かし、信頼性の高い、確かな装置をご提供致します。

◇納入後のメンテナンスも確実に提供

当社では、装置納入したお客様に対しての定期的なメンテナンスだけでなく、当社以外の装置に対しても、使用可能期間の長寿命化を目的として、装置のPLC制御機能の入替・変更や装置全体のリニューアル・改造等、お客様が設備投資を抑えて安定生産ができるように、様々なサービスを提供しております。現在、当社で装置を受注頂きましたお客様の80%は、現在リピーターとなって引き続き受注を頂いております。

◇充実した部材調達ネットワークを保有

装置に関わる部品については、グループ会社との連携により幅広い調達先を確保しております。

◇装置の量産を含めたワンストップサービスの提供

当社は、親会社である関西セイキ工業株式会社との連携により、装置の量産も対応可能です。量産工場にはクリーンルームも保有しております。また、同社との連携を通じて装置に関わる設計・製作を含めたワンストップサービスをご提供します。

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各種業界別対象装置(一例)


当社がご提供する各種業界別対象装置の事例をご紹介します。なお、下記以外の装置についても、ご相談により対応可能な場合もあります。

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装置実績


当社が過去ご提供した装置の実績をご紹介します。なお、下記の装置以外にも、ご相談により対応可能な場合があります。

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スペシャリストの技術実績


当社のスペシャリストの技術実績をご紹介します。

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製品・サービスのステータス

量産中・販売中

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