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遠心力を利用して、ウエハ乾燥をおこなう、卓上に設置可能な卓上型スピンドライヤー!!

製品・サービスの登録業界

この登録製品に関する強み(技術・製品リソース)

1.遠心力を利用して、ウエハ乾燥をおこなう卓上型スピンドライヤー

2.様々な洗浄液のスピン乾燥が可能な卓上スピンドライヤー

製品・サービスの特長

◇遠心力を利用して、ウエハ乾燥をおこなう、卓上に設置可能なスピンドライヤー

◇20mm基板から6インチウエハの各サイズをラインナップ

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製品・サービスの詳細

【テクノファインの卓上型スピンドライヤーの特徴】

 ① 排水性を考慮した回転体

  ◆ サンプルを載せる回転体にスリットを彫り込む事で、排水性の向上やサンプル裏面の水切れがし易いように設計されています。
  ◆ 材質にテフロンを採用していますので耐薬品性が高く、様々な洗浄液のスピン乾燥が可能です。

Product_description_1000225144_1359957430

 ② 跳ね返りを防止するカバー形状

   ◆ カバーをテーパー形状にする事によって、飛び散る液体の跳ね返りがサンプルへ再付着するのを防止します。

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製品・サービスの仕様



【テクノファインの卓上スピンドライヤーの製品ラインナップ】

①20mm角基板対応 卓上型スピンドライヤー Model: SD-20S
    ◆ 20mm角基板対応。
    ◆ 軽量&省スペース 幅160×奥行180×高さ150mm
    ◆ 最大回転数  Max 3000rpm
    ◆ ボリュームつまみを回すだけの簡単操作。
    ◆ テーブル部脱着可能なので、メンテナンスが簡単。
    ◆ AC100V 50/60Hz 電源仕様。
    ◆ 飛散防止カバー付き

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②Φ3インチウエハ対応  卓上型スピンドライヤー Model: SD-300CS
    ◆ コントローラ別置きタイプ
    ◆ Φ3インチウエハ・5枚同時処理が可能です。
    ◆ 最大回転数 Max 3000rpm
    ◆ 条件データの保存が可能。
    ◆ 回転スピード表示機能。
    ◆ 加速時間設定機能。
    ◆ 保護カバー開閉インターロック機能。
    ◆ 外形寸法 (幅×奥行×高さ) 
     ・ 本体:380×400×430mm  
     ・ コントローラ:210×410×150mm
    ◆ AC100V 50/60Hz 電源仕様。

Product_description_1000225144_1359958197

③Φ3インチウエハ対応  卓上型スピンドライヤー Model: SD-300
    ◆ コントローラ一体型タイプ
    ◆ Φ3インチウエハ・5枚同時処理が可能です。
    ◆ 最大回転数 Max 3000rpm
    ◆ 条件データの保存が可能。
    ◆ 回転スピード表示機能。
    ◆ 加速時間設定機能。
    ◆ 保護カバー開閉インターロック機能。
    ◆ AC100V 50/60Hz 電源仕様。
    ◆ 外形寸法 380×380×435㎜(幅×奥行×高さ)

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④100㎜角基板&Φ3インチウエハ対応  卓上型リンサードライヤー Model: RD-300
    ◆ 2本のノズルによる純水洗浄・窒素(N2)ブロー乾燥機能を追加。
    ◆ オート運転、5ステップ制御。
    ◆ 5種類の条件データの保存が可能。
    ◆ 最大回転数 Max 3000rpm
    ◆ 回転スピード表示機能。
    ◆ 加速時間設定機能。
    ◆ 保護カバー開閉インターロック機能。
    ◆ AC100V 50/60Hz 電源仕様。
    ◆ 外形寸法 380×450×480㎜ (幅×奥行×高さ)

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⑤Φ4インチウエハ対応  卓上型スピンドライヤー Model: SD-400  
    ◆ Φ4インチウエハ・5枚同時処理が可能です。
    ◆ 最大回転数 Max 3000rpm
    ◆ タッチパネル操作によるオート制御。
    ◆ 5種類の条件データの保存が可能。
    ◆ 回転スピード表示機能。
    ◆ 加速時間設定機能。
    ◆ 保護カバーインターロック機能。
    ◆ 外形寸法 430×430×430㎜(幅×奥行×高さ)
    ◆ AC100V 50/60Hz 電源仕様。

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⑥Φ6インチウエハ対応 卓上型スピンドライヤー Model: SD-600
    ◆ Φ6インチウエハ・4枚同時処理が可能です。
    ◆ 最大回転数 Max 1500rpm
    ◆ タッチパネル操作によるオート制御。
    ◆ 条件設定データの保存が可能。
    ◆ 回転スピード表示機能。
    ◆ 加速時間設定機能。
    ◆ 保護カバーの開閉インターロック機能付。
    ◆ 外形寸法 695×600×550㎜(幅×奥行×高さ)
    ◆ AC100V 50/60Hz 電源仕様。

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製品・サービスのステータス

量産中・販売中

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