平面板の研磨・加工 薄物から大型基板まで
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0.1ｍｍ以下の薄いものからΦ500ｍｍ程度の大型平面基板を製作いたします。面精度は反射波面でλ/40、角度精度±1秒、表面粗さ2Åまでの製品をお作りいたします。検査装置はzygo社の干渉計や三次元表面構造解析顕微鏡を使い、信頼性の高いデータで検査いたします。
極薄平面基板
λ/50平面基準原器
東北活性研「オンリーワン企業紹介」サイト
株式会社テクニカルは東北活性研「オンリーワン企業紹介サイト」掲載企業です。
http://www.kasseiken.jp/onlyone/detail.php?id=124
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