5675

• 5684

  

  

  製造装置用部品

  • 5727

    

    

    材料

    • 5857

      金属材料

    • 5858

      樹脂材料

    • 5859

      セラミック材料

    • 6029

      その他

  • 5728

    

    

    加工部品

    • 5860

      金属加工部品

    • 5861

      樹脂加工部品

    • 5862

      セラミック加工部品

    • 5863

      めっき加工部品

    • 6030

      その他

  • 5729

    

    

    真空装置

    • 5864

      真空ポンプ

    • 5865

      真空計

    • 5866

      真空内搬送装置

    • 6031

      その他

  • 5730

    

    

    電源装置

    • 5867

      RF電源

    • 5868

      DC電源

    • 6032

      その他

  • 5731

    

    

    アクチュエータ

    • 5869

      油圧

    • 5870

      空圧

    • 5871

      その他

  • 5732

    その他

• 5685

  

  

  マスク・レチクル製造用装置

  • 5733

    

    

    フォトリソ工程装置

    • 5872

      電子ビーム描画装置

    • 5873

      レーザ描画装置

    • 5874

      パターンジェネレータ

    • 5875

      コンタクトプリンタ

    • 5876

      フォトリピータ

    • 5877

      塗布装置

    • 5878

      レジスト剥離装置

    • 5879

      現像・ベーキングディスカム装置

    • 5880

      その他

  • 5734

    

    

    薄膜形成・エッチング・洗浄乾燥装置

    • 5881

      真空蒸着装置

    • 5882

      スパッタリング装置

    • 5883

      CVD装置

    • 5884

      洗浄装置

    • 5885

      エッチング装置

    • 5886

      乾燥装置

    • 5887

      スクラブ洗浄装置

    • 5888

      その他

  • 5735

    

    

    検査評価装置

    • 5889

      欠陥検査装置

    • 5890

      欠陥修正装置

    • 5891

      マスク異物検査装置

    • 5892

      外観検査装置

    • 5893

      その他

  • 5736

    その他

• 5686

  

  

  LED基板用製造装置

  • 5737

    

    

    単結晶製造装置

    • 5894

      単結晶引き上げ装置

    • 5895

      その他

  • 5738

    

    

    ウェハ加工装置

    • 5896

      切断装置

    • 5897

      ラッピング装置

    • 5898

      ポリッシング装置

    • 5899

      研削装置

    • 5900

      ウェハマーキング装置

    • 5901

      その他

  • 5739

    

    

    検査評価装置

    • 5902

      ライフタイム測定器

    • 5903

      結晶欠陥検査装置

    • 5904

      加工検査装置

    • 5905

      各種計測用装置

    • 5906

      その他

  • 5740

    その他

  • 5741

    

    

    露光・描画装置

    • 5907

      投影露光装置（i線、KrF、ArF）

    • 5908

      電子ビーム露光装置

    • 5909

      その他

  • 5742

    

    

    レジスト処理装置

    • 5910

      塗布装置

    • 5911

      現像装置

    • 5912

      ベーキング装置

    • 5913

      レジスト安定化装置

    • 5914

      ウェハー周辺露光装置

    • 5915

      その他

  • 5743

    

    

    エッチング装置

    • 5916

      ホール系

    • 5917

      Poly-Si系

    • 5918

      メタル系

    • 5919

      酸化膜系

    • 5920

      その他

  • 5744

    

    

    洗浄・乾燥装置

    • 5921

      ウェットエッチング装置

    • 5922

      乾式洗浄装置

    • 5923

      湿式洗浄装置

    • 5924

      スクラブ洗浄装置

    • 5925

      乾燥装置

    • 5926

      高圧噴射洗浄装置

    • 5927

      超音波洗浄装置

    • 5928

      その他

  • 5745

    

    

    熱処理装置

    • 5929

      酸化装置

    • 5930

      拡散装置

    • 5931

      アニール装置

    • 5932

      その他

  • 5746

    

    

    イオン注入装置

    • 5933

      大電流イオン注入装置

    • 5934

      中電流イオン注入装置

    • 5935

      高エネルギーイオン注入装置

    • 5936

      その他

  • 5747

    

    

    CVD装置

    • 5937

      常圧CVD装置

    • 5938

      SACVD

    • 5939

      減圧CVD装置

    • 5940

      プラズマCVD装置

    • 5941

      MOCVD装置

    • 5942

      その他

  • 5748

    

    

    その他薄膜形成装置

    • 5943

      スパッタリング装置

    • 5944

      エピタキシャル成長装置

    • 5945

      真空蒸着装置

    • 5946

      めっき装置

    • 5947

      その他

  • 5749

    

    

    検査評価装置

    • 5948

      外観検査装置

    • 5949

      異物検査装置

    • 5950

      オージェ電子分光装置

    • 5951

      その他

  • 5750

    

    

    CMP装置

    • 5952

      酸化膜系

    • 5953

      タングステン系

    • 5954

      Cu系

    • 5955

      CMP用洗浄装置

    • 5956

      その他

  • 5751

    

    

    その他処理装置

    • 5957

      ウェハーマーキング装置

    • 5958

      マーク読取装置

    • 5959

      バンプメッキ装置

    • 5960

      その他

  • 6020

    その他

• 5687

  

  

  組立用装置

  • 5752

    

    

    ダイシング装置

    • 5961

      スクライビング装置

    • 5962

      ダイシング装置

    • 5963

      ウェハマウンティング装置

    • 5964

      超音波洗浄装置

    • 5965

      その他

  • 5753

    

    

    ボンディング装置

    • 5966

      チップマウンティング装置

    • 5967

      ダイボンディング装置

    • 5968

      ハイブリッドボンディング装置

    • 5969

      ワイヤボンディング装置

    • 5970

      インナリードボンディング装置

    • 5971

      アウターリードボンディング装置

    • 5972

      フリップチップボンディング装置

    • 5973

      その他

  • 5754

    

    

    パッケージング装置

    • 5974

      モールド装置

    • 5975

      バリ取り装置

    • 5976

      封止用加熱炉

    • 5977

      半田処理装置

    • 5978

      半田ボールマウンティング装置

    • 5979

      リード加工機

    • 5980

      マーキング装置

    • 5981

      その他

  • 5755

    

    

    検査評価装置

    • 5982

      外観検査装置

    • 5983

      X線検査装置

    • 5984

      リード外観検査装置

    • 5985

      ボンドブルテスタ

    • 5986

      各種計測用装置

    • 5987

      その他

  • 5756

    その他

• 5688

  

  

  検査用装置

  • 5757

    

    

    テスティング装置

    • 5988

      テスト装置

    • 5989

      その他

  • 5758

    

    

    エージング装置

    • 5990

      エージング装置

    • 5991

      バーンイン装置

    • 5992

      その他

  • 5759

    

    

    その他検査装置

    • 5993

      温度・湿度試験装置

    • 5994

      リーク検査装置

    • 5995

      レーザープロセッシングシステム

    • 5996

      衝撃・振動試験装置

    • 5997

      各種計測用機器

    • 5998

      その他

  • 5760

    その他

• 5689

  

  

  各種搬送装置

  • 5761

    工程内ウェハ搬送装置

  • 5762

    工程間ウェハ搬送装置

  • 5763

    ストッカー

  • 5764

    その他

• 5690

  その他製造装置

• 6016

  その他