5675
すべて
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5684
製造装置用部品
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5727
材料
-
5857
金属材料
-
5858
樹脂材料
-
5859
セラミック材料
-
6029
その他
-
-
5728
加工部品
-
5860
金属加工部品
-
5861
樹脂加工部品
-
5862
セラミック加工部品
-
5863
めっき加工部品
-
6030
その他
-
-
5729
真空装置
-
5864
真空ポンプ
-
5865
真空計
-
5866
真空内搬送装置
-
6031
その他
-
-
5730
電源装置
-
5867
RF電源
-
5868
DC電源
-
6032
その他
-
-
5731
アクチュエータ
-
5869
油圧
-
5870
空圧
-
5871
その他
-
-
5732
その他
-
-
5685
マスク・レチクル製造用装置
-
5733
フォトリソ工程装置
-
5872
電子ビーム描画装置
-
5873
レーザ描画装置
-
5874
パターンジェネレータ
-
5875
コンタクトプリンタ
-
5876
フォトリピータ
-
5877
塗布装置
-
5878
レジスト剥離装置
-
5879
現像・ベーキングディスカム装置
-
5880
その他
-
-
5734
薄膜形成・エッチング・洗浄乾燥装置
-
5881
真空蒸着装置
-
5882
スパッタリング装置
-
5883
CVD装置
-
5884
洗浄装置
-
5885
エッチング装置
-
5886
乾燥装置
-
5887
スクラブ洗浄装置
-
5888
その他
-
-
5735
検査評価装置
-
5889
欠陥検査装置
-
5890
欠陥修正装置
-
5891
マスク異物検査装置
-
5892
外観検査装置
-
5893
その他
-
-
5736
その他
-
-
5686
LED基板用製造装置
-
5737
単結晶製造装置
-
5894
単結晶引き上げ装置
-
5895
その他
-
-
5738
ウェハ加工装置
-
5896
切断装置
-
5897
ラッピング装置
-
5898
ポリッシング装置
-
5899
研削装置
-
5900
ウェハマーキング装置
-
5901
その他
-
-
5739
検査評価装置
-
5902
ライフタイム測定器
-
5903
結晶欠陥検査装置
-
5904
加工検査装置
-
5905
各種計測用装置
-
5906
その他
-
-
5740
その他
-
5741
露光・描画装置
-
5907
投影露光装置(i線、KrF、ArF)
-
5908
電子ビーム露光装置
-
5909
その他
-
-
5742
レジスト処理装置
-
5910
塗布装置
-
5911
現像装置
-
5912
ベーキング装置
-
5913
レジスト安定化装置
-
5914
ウェハー周辺露光装置
-
5915
その他
-
-
5743
エッチング装置
-
5916
ホール系
-
5917
Poly-Si系
-
5918
メタル系
-
5919
酸化膜系
-
5920
その他
-
-
5744
洗浄・乾燥装置
-
5921
ウェットエッチング装置
-
5922
乾式洗浄装置
-
5923
湿式洗浄装置
-
5924
スクラブ洗浄装置
-
5925
乾燥装置
-
5926
高圧噴射洗浄装置
-
5927
超音波洗浄装置
-
5928
その他
-
-
5745
熱処理装置
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5929
酸化装置
-
5930
拡散装置
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5931
アニール装置
-
5932
その他
-
-
5746
イオン注入装置
-
5933
大電流イオン注入装置
-
5934
中電流イオン注入装置
-
5935
高エネルギーイオン注入装置
-
5936
その他
-
-
5747
CVD装置
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5937
常圧CVD装置
-
5938
SACVD
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5939
減圧CVD装置
-
5940
プラズマCVD装置
-
5941
MOCVD装置
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5942
その他
-
-
5748
その他薄膜形成装置
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5943
スパッタリング装置
-
5944
エピタキシャル成長装置
-
5945
真空蒸着装置
-
5946
めっき装置
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5947
その他
-
-
5749
検査評価装置
-
5948
外観検査装置
-
5949
異物検査装置
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5950
オージェ電子分光装置
-
5951
その他
-
-
5750
CMP装置
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5952
酸化膜系
-
5953
タングステン系
-
5954
Cu系
-
5955
CMP用洗浄装置
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5956
その他
-
-
5751
その他処理装置
-
5957
ウェハーマーキング装置
-
5958
マーク読取装置
-
5959
バンプメッキ装置
-
5960
その他
-
-
6020
その他
-
-
5687
組立用装置
-
5752
ダイシング装置
-
5961
スクライビング装置
-
5962
ダイシング装置
-
5963
ウェハマウンティング装置
-
5964
超音波洗浄装置
-
5965
その他
-
-
5753
ボンディング装置
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5966
チップマウンティング装置
-
5967
ダイボンディング装置
-
5968
ハイブリッドボンディング装置
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5969
ワイヤボンディング装置
-
5970
インナリードボンディング装置
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5971
アウターリードボンディング装置
-
5972
フリップチップボンディング装置
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5973
その他
-
-
5754
パッケージング装置
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5974
モールド装置
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5975
バリ取り装置
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5976
封止用加熱炉
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5977
半田処理装置
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5978
半田ボールマウンティング装置
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5979
リード加工機
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5980
マーキング装置
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5981
その他
-
-
5755
検査評価装置
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5982
外観検査装置
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5983
X線検査装置
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5984
リード外観検査装置
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5985
ボンドブルテスタ
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5986
各種計測用装置
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5987
その他
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-
5756
その他
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-
5688
検査用装置
-
5757
テスティング装置
-
5988
テスト装置
-
5989
その他
-
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5758
エージング装置
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5990
エージング装置
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5991
バーンイン装置
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5992
その他
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5759
その他検査装置
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5993
温度・湿度試験装置
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5994
リーク検査装置
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5995
レーザープロセッシングシステム
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5996
衝撃・振動試験装置
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5997
各種計測用機器
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5998
その他
-
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5760
その他
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5689
各種搬送装置
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5761
工程内ウェハ搬送装置
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5762
工程間ウェハ搬送装置
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5763
ストッカー
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5764
その他
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5690
その他製造装置
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6016
その他