344

• 355

  

  

  製造装置用部品

  • 410

    

    

    材料

    • 553

      金属材料

    • 554

      樹脂材料

    • 555

      セラミック材料

    • 741

      その他

  • 411

    

    

    加工部品

    • 556

      金属加工部品

    • 557

      樹脂加工部品

    • 558

      セラミック加工部品

    • 559

      めっき加工部品

    • 742

      その他

  • 412

    

    

    真空装置

    • 560

      真空ポンプ

    • 561

      真空計

    • 562

      真空内搬送装置

    • 19629

      真空チャンバー

    • 743

      その他

  • 413

    

    

    電源装置

    • 563

      RF電源

    • 564

      DC電源

    • 744

      その他

  • 414

    

    

    アクチュエータ

    • 565

      油圧

    • 566

      空圧

    • 567

      その他

  • 415

    その他

• 356

  

  

  マスク・レチクル製造用装置

  • 416

    

    

    フォトリソ工程装置

    • 568

      電子ビーム描画装置

    • 569

      レーザ描画装置

    • 570

      パターンジェネレータ

    • 571

      コンタクトプリンタ

    • 572

      フォトリピータ

    • 573

      塗布装置

    • 574

      レジスト剥離装置

    • 575

      現像・ベーキングディスカム装置

    • 576

      その他

  • 417

    

    

    薄膜形成・エッチング・洗浄乾燥装置

    • 577

      真空蒸着装置

    • 578

      スパッタリング装置

    • 579

      CVD装置

    • 580

      洗浄装置

    • 581

      エッチング装置

    • 582

      乾燥装置

    • 583

      スクラブ洗浄装置

    • 584

      その他

  • 418

    

    

    検査評価装置

    • 585

      欠陥検査装置

    • 586

      欠陥修正装置

    • 587

      マスク異物検査装置

    • 588

      外観検査装置

    • 589

      その他

  • 419

    その他

• 357

  

  

  ウェハー製造用装置

  • 420

    

    

    単結晶製造装置

    • 590

      単結晶引き上げ装置

    • 591

      その他

  • 421

    

    

    ウェハ加工装置

    • 592

      切断装置

    • 593

      ラッピング装置

    • 594

      ポリッシング装置

    • 595

      研削装置

    • 596

      ウェハマーキング装置

    • 597

      その他

  • 422

    

    

    検査評価装置

    • 598

      ライフタイム測定器

    • 599

      結晶欠陥検査装置

    • 600

      加工検査装置

    • 601

      各種計測用装置

    • 602

      その他

  • 423

    その他

• 358

  

  

  ウェハープロセス処理装置

  • 424

    

    

    露光・描画装置

    • 603

      投影露光装置（i線、KrF、ArF）

    • 604

      電子ビーム露光装置

    • 605

      その他

  • 425

    

    

    レジスト処理装置

    • 606

      塗布装置

    • 607

      現像装置

    • 608

      ベーキング装置

    • 609

      レジスト安定化装置

    • 610

      ウェハー周辺露光装置

    • 611

      その他

  • 426

    

    

    エッチング装置

    • 612

      ホール系

    • 613

      Poly-Si系

    • 614

      メタル系

    • 615

      酸化膜系

    • 616

      その他

  • 427

    

    

    洗浄・乾燥装置

    • 617

      ウェットエッチング装置

    • 618

      乾式洗浄装置

    • 619

      湿式洗浄装置

    • 620

      スクラブ洗浄装置

    • 621

      乾燥装置

    • 622

      高圧噴射洗浄装置

    • 623

      超音波洗浄装置

    • 624

      その他

  • 428

    

    

    熱処理装置

    • 625

      酸化装置

    • 626

      拡散装置

    • 627

      アニール装置

    • 628

      その他

  • 429

    

    

    イオン注入装置

    • 629

      大電流イオン注入装置

    • 630

      中電流イオン注入装置

    • 631

      高エネルギーイオン注入装置

    • 632

      その他

  • 430

    

    

    CVD装置

    • 633

      常圧CVD装置

    • 634

      SACVD

    • 635

      減圧CVD装置

    • 636

      プラズマCVD装置

    • 637

      MOCVD装置

    • 638

      その他

  • 431

    

    

    その他薄膜形成装置

    • 639

      スパッタリング装置

    • 640

      エピタキシャル成長装置

    • 641

      真空蒸着装置

    • 642

      めっき装置

    • 643

      その他

  • 432

    

    

    検査評価装置

    • 644

      外観検査装置

    • 645

      異物検査装置

    • 646

      オージェ電子分光装置

    • 647

      その他

  • 433

    

    

    CMP装置

    • 648

      酸化膜系

    • 649

      タングステン系

    • 650

      Cu系

    • 651

      CMP用洗浄装置

    • 652

      その他

  • 434

    

    

    その他処理装置

    • 653

      ウェハーマーキング装置

    • 654

      マーク読取装置

    • 655

      バンプメッキ装置

    • 656

      その他

• 359

  

  

  組立用装置

  • 435

    

    

    ダイシング装置

    • 657

      スクライビング装置

    • 658

      ダイシング装置

    • 659

      ウェハマウンティング装置

    • 660

      超音波洗浄装置

    • 661

      その他

  • 436

    

    

    ボンディング装置

    • 662

      チップマウンティング装置

    • 663

      ダイボンディング装置

    • 664

      ハイブリッドボンディング装置

    • 665

      ワイヤボンディング装置

    • 666

      インナリードボンディング装置

    • 667

      アウターリードボンディング装置

    • 668

      フリップチップボンディング装置

    • 669

      TABボンディング装置

    • 670

      その他

  • 437

    

    

    パッケージング装置

    • 671

      モールド装置

    • 672

      バリ取り装置

    • 673

      封止用加熱炉

    • 674

      半田処理装置

    • 675

      半田ボールマウンティング装置

    • 676

      リード加工機

    • 677

      マーキング装置

    • 678

      その他

  • 438

    

    

    検査評価装置

    • 679

      外観検査装置

    • 680

      X線検査装置

    • 681

      リード外観検査装置

    • 682

      ボンドブルテスタ

    • 683

      各種計測用装置

    • 684

      その他

  • 439

    その他

• 360

  

  

  検査用装置

  • 440

    

    

    テスティング装置

    • 685

      ロジックテスティング装置

    • 686

      メモリテスティング装置

    • 687

      リニアテスティング装置

    • 688

      その他テスティング装置

    • 689

      プロービング装置

    • 690

      ハンドラ

    • 691

      その他

  • 441

    

    

    エージング装置

    • 692

      エージング装置

    • 693

      バーンイン装置

    • 694

      IC挿入装置

    • 695

      その他

  • 442

    

    

    その他検査装置

    • 696

      温度・湿度試験装置

    • 697

      リーク検査装置

    • 698

      レーザープロセッシングシステム

    • 699

      衝撃・振動試験装置

    • 700

      各種計測用機器

    • 701

      その他

  • 443

    その他

• 361

  

  

  各種搬送装置

  • 444

    工程内ウェハ搬送装置

  • 445

    工程間ウェハ搬送装置

  • 446

    ストッカー

  • 447

    その他

• 362

  その他製造装置