8604

• 8618

  

  

  製造装置用部品

  • 8711

    

    

    材料

    • 8892

      金属材料

    • 8893

      樹脂材料

    • 8894

      セラミック材料

    • 9087

      その他

  • 8712

    

    

    加工部品

    • 8895

      金属加工部品

    • 8896

      樹脂加工部品

    • 8897

      セラミック加工部品

    • 8898

      めっき加工部品

    • 9088

      その他

  • 8713

    

    

    真空装置

    • 8899

      真空チャンバー

    • 8900

      真空ポンプ

    • 8901

      真空計

    • 8902

      真空内搬送装置

    • 9089

      その他

  • 8714

    

    

    電源装置

    • 8903

      RF電源

    • 8904

      DC電源

    • 9090

      その他

  • 8715

    

    

    アクチュエータ

    • 8905

      油圧

    • 8906

      空圧

    • 8907

      その他

  • 8716

    その他

• 8619

  

  

  マスク・レチクル製造用装置

  • 8717

    

    

    フォトリソ工程装置

    • 8908

      電子ビーム描画装置

    • 8909

      レーザ描画装置

    • 8910

      パターンジェネレータ

    • 8911

      コンタクトプリンタ

    • 8912

      フォトリピータ

    • 8913

      塗布装置

    • 8914

      レジスト剥離装置

    • 8915

      現像・ベーキングディスカム装置

    • 8916

      その他

  • 8718

    

    

    薄膜形成・エッチング・洗浄乾燥装置

    • 8917

      真空蒸着装置

    • 8918

      スパッタリング装置

    • 8919

      CVD装置

    • 8920

      洗浄装置

    • 8921

      エッチング装置

    • 8922

      乾燥装置

    • 8923

      スクラブ洗浄装置

    • 8924

      その他

  • 8719

    

    

    検査評価装置

    • 8925

      欠陥検査装置

    • 8926

      欠陥修正装置

    • 8927

      マスク異物検査装置

    • 8928

      外観検査装置

    • 8929

      その他

  • 8720

    その他

• 8620

  

  

  ウェハー製造用装置

  • 8721

    

    

    単結晶製造装置

    • 8930

      単結晶引き上げ装置

    • 8931

      その他

  • 8722

    

    

    ウェハ加工装置

    • 8932

      切断装置

    • 8933

      ラッピング装置

    • 8934

      ポリッシング装置

    • 8935

      研削装置

    • 8936

      ウェハマーキング装置

    • 8937

      その他

  • 8723

    

    

    検査評価装置

    • 8938

      ライフタイム測定器

    • 8939

      結晶欠陥検査装置

    • 8940

      加工検査装置

    • 8941

      各種計測用装置

    • 8942

      その他

  • 8724

    その他

• 8621

  

  

  ウェハープロセス処理装置

  • 8725

    

    

    露光・描画装置

    • 8943

      投影露光装置（i線、KrF、ArF）

    • 8944

      電子ビーム露光装置

    • 8945

      その他

  • 8726

    

    

    レジスト処理装置

    • 8946

      塗布装置

    • 8947

      現像装置

    • 8948

      ベーキング装置

    • 8949

      レジスト安定化装置

    • 8950

      ウェハー周辺露光装置

    • 8951

      その他

  • 8727

    

    

    エッチング装置

    • 8952

      ホール系

    • 8953

      Poly-Si系

    • 8954

      メタル系

    • 8955

      酸化膜系

    • 8956

      その他

  • 8728

    

    

    洗浄・乾燥装置

    • 8957

      ウェットエッチング装置

    • 8958

      乾式洗浄装置

    • 8959

      湿式洗浄装置

    • 8960

      スクラブ洗浄装置

    • 8961

      乾燥装置

    • 8962

      高圧噴射洗浄装置

    • 8963

      超音波洗浄装置

    • 8964

      その他

  • 8729

    

    

    熱処理装置

    • 8965

      酸化装置

    • 8966

      拡散装置

    • 8967

      アニール装置

    • 8968

      その他

  • 8730

    

    

    イオン注入装置

    • 8969

      大電流イオン注入装置

    • 8970

      中電流イオン注入装置

    • 8971

      高エネルギーイオン注入装置

    • 8972

      その他

  • 8731

    

    

    CVD装置

    • 8973

      常圧CVD装置

    • 8974

      SACVD

    • 8975

      減圧CVD装置

    • 8976

      プラズマCVD装置

    • 8977

      MOCVD装置

    • 8978

      その他

  • 8732

    

    

    その他薄膜形成装置

    • 8979

      スパッタリング装置

    • 8980

      エピタキシャル成長装置

    • 8981

      真空蒸着装置

    • 8982

      めっき装置

    • 8983

      その他

  • 8733

    

    

    検査評価装置

    • 8984

      外観検査装置

    • 8985

      異物検査装置

    • 8986

      オージェ電子分光装置

    • 8987

      その他

  • 8734

    

    

    CMP装置

    • 8988

      酸化膜系

    • 8989

      タングステン系

    • 8990

      Cu系

    • 8991

      CMP用洗浄装置

    • 8992

      その他

  • 8735

    

    

    その他処理装置

    • 8993

      ウェハーマーキング装置

    • 8994

      マーク読取装置

    • 8995

      バンプメッキ装置

    • 8996

      その他

  • 8736

    

    

    新規プロセス装置

    • 8997

      ナノインプリント装置

    • 8998

      インクジェットプリンタ

    • 8999

      ロールtoロール装置

    • 9000

      コーティング装置

    • 9001

      射出装置

    • 9002

      ホットエンボス装置

    • 9091

      その他

  • 9072

    その他

• 8622

  

  

  組立用装置

  • 8737

    

    

    ダイシング装置

    • 9003

      スクライビング装置

    • 9004

      ダイシング装置

    • 9005

      ウェハマウンティング装置

    • 9006

      超音波洗浄装置

    • 9007

      その他

  • 8738

    

    

    ボンディング装置

    • 9008

      チップマウンティング装置

    • 9009

      ダイボンディング装置

    • 9010

      ハイブリッドボンディング装置

    • 9011

      ワイヤボンディング装置

    • 9012

      インナリードボンディング装置

    • 9013

      アウターリードボンディング装置

    • 9014

      フリップチップボンディング装置

    • 9015

      TABボンディング装置

    • 9016

      その他

  • 8739

    

    

    パッケージング装置

    • 9017

      モールド装置

    • 9018

      バリ取り装置

    • 9019

      封止用加熱炉

    • 9020

      半田処理装置

    • 9021

      半田ボールマウンティング装置

    • 9022

      リード加工機

    • 9023

      マーキング装置

    • 9024

      接合装置

    • 9025

      その他

  • 8740

    

    

    検査評価装置

    • 9026

      外観検査装置

    • 9027

      X線検査装置

    • 9028

      リード外観検査装置

    • 9029

      ボンドブルテスタ

    • 9030

      その他

  • 8741

    その他

• 8623

  

  

  検査用装置

  • 8742

    

    

    テスティング装置

    • 9031

      ロジックテスティング装置

    • 9032

      メモリテスティング装置

    • 9033

      リニアテスティング装置

    • 9034

      その他テスティング装置

    • 9035

      プロービング装置

    • 9036

      ハンドラ

    • 9037

      その他

  • 8743

    

    

    エージング装置

    • 9038

      エージング装置

    • 9039

      バーンイン装置

    • 9040

      IC挿入装置

    • 9041

      その他

  • 8744

    

    

    その他検査装置

    • 9042

      温度・湿度試験装置

    • 9043

      リーク検査装置

    • 9044

      レーザープロセッシングシステム

    • 9045

      衝撃・振動試験装置

    • 9046

      各種計測用機器

    • 9047

      形状・粗さ・膜厚測定器

    • 9048

      光学顕微鏡

    • 9049

      電子顕微鏡

    • 9050

      プローブ顕微鏡

    • 9051

      回折装置

    • 9052

      その他

  • 8745

    その他

• 8624

  

  

  各種搬送装置

  • 8746

    工程内ウェハ搬送装置

  • 8747

    工程間ウェハ搬送装置

  • 8748

    ストッカー

  • 8749

    その他

• 8625

  その他製造装置