8604
すべて
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8618
製造装置用部品
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8711
材料
-
8892
金属材料
-
8893
樹脂材料
-
8894
セラミック材料
-
9087
その他
-
-
8712
加工部品
-
8895
金属加工部品
-
8896
樹脂加工部品
-
8897
セラミック加工部品
-
8898
めっき加工部品
-
9088
その他
-
-
8713
真空装置
-
8899
真空チャンバー
-
8900
真空ポンプ
-
8901
真空計
-
8902
真空内搬送装置
-
9089
その他
-
-
8714
電源装置
-
8903
RF電源
-
8904
DC電源
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9090
その他
-
-
8715
アクチュエータ
-
8905
油圧
-
8906
空圧
-
8907
その他
-
-
8716
その他
-
-
8619
マスク・レチクル製造用装置
-
8717
フォトリソ工程装置
-
8908
電子ビーム描画装置
-
8909
レーザ描画装置
-
8910
パターンジェネレータ
-
8911
コンタクトプリンタ
-
8912
フォトリピータ
-
8913
塗布装置
-
8914
レジスト剥離装置
-
8915
現像・ベーキングディスカム装置
-
8916
その他
-
-
8718
薄膜形成・エッチング・洗浄乾燥装置
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8917
真空蒸着装置
-
8918
スパッタリング装置
-
8919
CVD装置
-
8920
洗浄装置
-
8921
エッチング装置
-
8922
乾燥装置
-
8923
スクラブ洗浄装置
-
8924
その他
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-
8719
検査評価装置
-
8925
欠陥検査装置
-
8926
欠陥修正装置
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8927
マスク異物検査装置
-
8928
外観検査装置
-
8929
その他
-
-
8720
その他
-
-
8620
ウェハー製造用装置
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8721
単結晶製造装置
-
8930
単結晶引き上げ装置
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8931
その他
-
-
8722
ウェハ加工装置
-
8932
切断装置
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8933
ラッピング装置
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8934
ポリッシング装置
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8935
研削装置
-
8936
ウェハマーキング装置
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8937
その他
-
-
8723
検査評価装置
-
8938
ライフタイム測定器
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8939
結晶欠陥検査装置
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8940
加工検査装置
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8941
各種計測用装置
-
8942
その他
-
-
8724
その他
-
-
8621
ウェハープロセス処理装置
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8725
露光・描画装置
-
8943
投影露光装置(i線、KrF、ArF)
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8944
電子ビーム露光装置
-
8945
その他
-
-
8726
レジスト処理装置
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8946
塗布装置
-
8947
現像装置
-
8948
ベーキング装置
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8949
レジスト安定化装置
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8950
ウェハー周辺露光装置
-
8951
その他
-
-
8727
エッチング装置
-
8952
ホール系
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8953
Poly-Si系
-
8954
メタル系
-
8955
酸化膜系
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8956
その他
-
-
8728
洗浄・乾燥装置
-
8957
ウェットエッチング装置
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8958
乾式洗浄装置
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8959
湿式洗浄装置
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8960
スクラブ洗浄装置
-
8961
乾燥装置
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8962
高圧噴射洗浄装置
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8963
超音波洗浄装置
-
8964
その他
-
-
8729
熱処理装置
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8965
酸化装置
-
8966
拡散装置
-
8967
アニール装置
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8968
その他
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-
8730
イオン注入装置
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8969
大電流イオン注入装置
-
8970
中電流イオン注入装置
-
8971
高エネルギーイオン注入装置
-
8972
その他
-
-
8731
CVD装置
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8973
常圧CVD装置
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8974
SACVD
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8975
減圧CVD装置
-
8976
プラズマCVD装置
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8977
MOCVD装置
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8978
その他
-
-
8732
その他薄膜形成装置
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8979
スパッタリング装置
-
8980
エピタキシャル成長装置
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8981
真空蒸着装置
-
8982
めっき装置
-
8983
その他
-
-
8733
検査評価装置
-
8984
外観検査装置
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8985
異物検査装置
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8986
オージェ電子分光装置
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8987
その他
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-
8734
CMP装置
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8988
酸化膜系
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8989
タングステン系
-
8990
Cu系
-
8991
CMP用洗浄装置
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8992
その他
-
-
8735
その他処理装置
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8993
ウェハーマーキング装置
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8994
マーク読取装置
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8995
バンプメッキ装置
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8996
その他
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-
8736
新規プロセス装置
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8997
ナノインプリント装置
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8998
インクジェットプリンタ
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8999
ロールtoロール装置
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9000
コーティング装置
-
9001
射出装置
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9002
ホットエンボス装置
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9091
その他
-
-
9072
その他
-
-
8622
組立用装置
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8737
ダイシング装置
-
9003
スクライビング装置
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9004
ダイシング装置
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9005
ウェハマウンティング装置
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9006
超音波洗浄装置
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9007
その他
-
-
8738
ボンディング装置
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9008
チップマウンティング装置
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9009
ダイボンディング装置
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9010
ハイブリッドボンディング装置
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9011
ワイヤボンディング装置
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9012
インナリードボンディング装置
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9013
アウターリードボンディング装置
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9014
フリップチップボンディング装置
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9015
TABボンディング装置
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9016
その他
-
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8739
パッケージング装置
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9017
モールド装置
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9018
バリ取り装置
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9019
封止用加熱炉
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9020
半田処理装置
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9021
半田ボールマウンティング装置
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9022
リード加工機
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9023
マーキング装置
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9024
接合装置
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9025
その他
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8740
検査評価装置
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9026
外観検査装置
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9027
X線検査装置
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9028
リード外観検査装置
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9029
ボンドブルテスタ
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9030
その他
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8741
その他
-
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8623
検査用装置
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8742
テスティング装置
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9031
ロジックテスティング装置
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9032
メモリテスティング装置
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9033
リニアテスティング装置
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9034
その他テスティング装置
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9035
プロービング装置
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9036
ハンドラ
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9037
その他
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8743
エージング装置
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9038
エージング装置
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9039
バーンイン装置
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9040
IC挿入装置
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9041
その他
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8744
その他検査装置
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9042
温度・湿度試験装置
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9043
リーク検査装置
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9044
レーザープロセッシングシステム
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9045
衝撃・振動試験装置
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9046
各種計測用機器
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9047
形状・粗さ・膜厚測定器
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9048
光学顕微鏡
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9049
電子顕微鏡
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9050
プローブ顕微鏡
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9051
回折装置
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9052
その他
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8745
その他
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8624
各種搬送装置
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8746
工程内ウェハ搬送装置
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8747
工程間ウェハ搬送装置
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8748
ストッカー
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8749
その他
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8625
その他製造装置